Profilometr mechanický a optický

Sestava dvou přístrojů: Mechanický profilometr Dektak XT-E (Bruker), stylus 2um nebo 12.5 um, přítlak 0.03-15 mg, manuální XY stolek (4 palce), kamera 3.1 Mpix pro zobrazení vzorku, digitální zvětšení, 0.275-2.2 mm vertikální FOV. Vertikální rozlišení rozlišení 1 nm. Optický profilometr CONTOURGTK-A (Bruker) systém s PSI, VSI a VXI módy měření, předsádky s automatickou výměnou 0.55x – 1.0x – 2.0x, parfokální interferometrické objektivy 2.5x (pracovní vzdálenost 3.48 mm) a 20x (pracovní vzdálenost 4.7 mm). Automatizované Z zaostření a automatizovaný XY stolek (6 palců). Kamera 640x480 vysokorychlostní 100 fps. Rozsah vertikálního scanu 10 mm. Vertikální rozlišení 0.01 nm (jak uvádí Bruker), horizontální rozlišení 380 nm.