Elipsometr

Spektroskopický elipsometr UVISEL 2 (Horiba) s fázově modulovaným designem (PEM – fotoelastický modulátor, 50 kHz) s automatickým goniometrem (35-90°v krocích 0.01° - umožňuje Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry) a rozsahem vlnových délek od 180 nm do 2200 nm se spektrálním rozlišením lepším než 0.5 nm a automatickým nastavením šířky štěrbiny. Zdroj – Xe lampa 150 W. Achromatická optika, zobrazovací systém. Automatické seřízení horizontálního náklonu vzorku pro měření, motorizované nastavením v ose Z, v rozsahu alespoň 40 mm, autofokus v ose Z. XY motorizovaný mapovací stolek s rozsahem posunu 200 mm v obou směrech X a Y. Automatický výběr velikostí achromatických měřících bodů pro přesné polohování měřícího bodu, dostupné pro všechny úhly dopadu. Průměr měřícího bodu ≤ 40um pro 90°. Doba měření spektra je 5 minut pro rozsah přístroje s krokem: 0.05 eV. Lze měřit tloušťku transparentních vrstev až do 40µm. SW Delta Psi V2.